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HERO Fab 200は自律型移動ロボットで、クリーンルーム内の200mmウエハーのストッカー・ラック・ツール間の搬送を自動化します。安心の24時間稼働で手作業を減らし、長期的な安定と成熟した製造環境を実現します。
HERO Fab300は自律移動ロボットで、FOUPのロードポート・ストッカー・ラック間の確実で振動のない搬送のためデザインされています。Fabmaticsフリートマネージャーによる統一性とフリーナビゲーションにより、安全で予見できるマテリアルフローをフロントエンドの工場へ提供します。
HERO Scoutはリソグラフィエリア内のレチクルポッドの綺麗で安全な搬送に特化した小型移動ロボットです。ストレージと道具内の移動を自動化し、高価値のマスク操作のコンタミネーションのコントロール・処理量、・追跡可性と製造の安定性を向上させます。
HERO Railはレールガード車両でツール・ストッカー・搬送ステーション間を繋ぎ、迅速な反復搬送を提供します。実績のある24時間稼働と確実な位置補正で半導体工場での安定した工程内搬送を実現します。
Hero Cart(The RFID Trolley)は手押し車で、RFIDを搭載することによりクリーンルーム内の安全で追跡できる搬送を可能にします。人間工学を応用したマニュアル操作と信用性のあるデジタル認証及びホスト通信で段階的な自動化をサポートします。
The Test Wafer Centreはシングルシステム内のテストウエハーの脱着と収納を全自動化させます。工場はロット管理と適切なタイミングの搬送を完璧にコントールしながら、追跡性と製造の安定性を向上させることができます。
FlatStockerは天井取り付け型のストッカーで、 ツールや通路上で搬送をすることで価値あるクリーンルームのフロアスペースを開放します。コンベアと昇降機への高速のランダムアクセスとと柔軟なインターフェースで、スペースを有効に活用する高い収容度を備えています。
The Linear Hoist Systemはツール、ストッカー、コンベイシステム間の頭上搬送を繋ぎ、ベイ間の縦と水平方向の全自動搬送を可能にします。
そのコンパクトなデザインと確実な動作は24時間稼働の柔軟な工場レイアウトをサポートします。
Cube Stockerはクリーンルーム内のコンパクトで密集度の高いストレージのための据え置き型モジュール式ストッカーです。マテリアルのハンドリングを自動化させながら、マニュアルと自動インターフェースをサポートします。
RF ID Rackは自動搬送認識とWIPトラッキング用のRFIDアンテナが一体化された収納ラックです。既存のラックの位置情報をスマークロジスティクスポイントへ返信させ、工場内の追跡性の向上とマニュアルでのスキャニングを減少させます。
FOUPとSMIFウエハーポット用の後付け可能なパージシステムは、一時保管のウエハー搬送中に断続的に不活性ガスでパージします。
各工程間のコンタミネーションや酸化、湿度による誘発性の化学反応からウエハーを保護します。
イーサネットによるネットワーク用のRFIDリーダー等のCAN-busデバイスとホストシステムをつなぐげーたウェイです。システムの一体化を簡素化し、一元化されたモニタリングと搬送認識ポイントのコントロールを可能にします。
Fabmatics GmbH(以下、Fabmatics社)は、1991年に設立されたドイツ・Dresdenに本社を置く半導体製造向け自動化ソリューションのリーディングメーカーです。
半導体製造における搬送・保管・装置連携の自動化を中心に、スマートファクトリーの実現に貢献しています。
Fabmatics社は、モバイルロボット、OHT、ストッカーシステム、ロードポート、ソフトウェア制御などを統合し、半導体製造の完全自動化を可能にするトータルソリューションを提供しています。
半導体製造に求められる厳しい品質基準に対応し、すべての製品がクリーンルームISOクラス3以上の環境で使用可能な高いクリーン度を実現しています。
また、200mmウェハ製造工場への後付け(レトロフィット)にも対応しており、新設ラインだけでなく既存工場においても柔軟な自動化導入と生産性向上を可能にします。
Fabmatics社のソリューションは、世界トップクラスの半導体メーカーをはじめとするグローバル企業に数多く採用されており、高い信頼性と実績を誇ります。
ブルックスジャパンは、2024年よりFabmatics社製品の日本における保守サービス代理店として活動を開始しました。その後、日本のユーザー様およびFabmatics社双方から高い評価と信頼を得たことを背景に、2025年より販売を含む日本総代理店として同社製品の提供を開始しています。
現在は、製品の販売から据付、アフターサービスまで一貫したサポート体制により、日本国内のお客様に最適なソリューションを提供しております。
弊社ホームページ内のお問い合わせフォーム、またはお電話にてお問い合わせください。
メール、お電話、オンライン会議のいずれかにてお打ち合わせをいたします。
•搬送したい物およびサイズ
•搬送したいエリア(どこからどこへ)
•1時間当たりもしくは1日当たりの搬送数(予想)
•搬送距離
•導入時期
ご予算に合うか、納期がご希望に沿っているかのご確認をいただきます。
オートメーションに向けたコンサルティング(有料)をおこないます。
既設・新設のファブを問わず、設置予定エリアの詳細な測量をおこないます。
現地調査、詳細お打ち合わせの内容を元に最終的なお見積り、ご提案をさせていただきます。
ご提案にご納得いただき、ご契約を取り交わさせていただきます。
据付工事の細かい日程調整を行います。
Fabmatics製品は全てドイツから出荷されますが、輸送の手配は当然全てブルックスジャパンが行います。
(消耗品に関しましては、国内に在庫しておりますので、短納期対応が可能です。)
物件によっては、工期が長くなることもございますが、事前の打ち合わせでご希望された日程にて据付工事を行います。ブルックスジャパンのエンジニアが操作方法のトレーニングを行います。
装置のトラブルシューティング、消耗品(キャリア)のご注文、操作方法の再トレーニングのご依頼、メンテナンスのご依頼、増設のご相談等いつでもお気軽にご連絡ください。
技術サポート部 部長
Nobuhito Kashiwagi
私ども技術チームは、ハイエンド製品をご使用いただいているお客様にご満足いただける技術サポートをご提供できるよう日々研鑽を重ねています。
海外の素晴らしい技術製品をお客様が憂慮なくご使用いただけけるよう私どもが全力でサポートいたします。
製品や装置を世界中から探すところから始まり、導入、据付、トレーニング、保守サービス、メーカーへの開発要求まで全てサポートさせていただきます。
私達の喜びはお客様のお役に立てることです。私達の目標は、お客様の事業の発展に貢献すること、ひいては日本の工業会に貢献することです。
私達は常にお客様の傍にありたいと考えています。どのようなことでも構いません。お気軽にご相談いただけると幸いです。
〒812-0016 福岡県福岡市博多区
博多駅南1-3-1日本生命博多南ビル6F